反應腔
我司生產的反應腔，憑借精密制造技術、特種涂層技術和清洗技術，獲得國內外主流客戶的青睞，產品性能滿足客戶制程要求。
目前制造的反應腔應用于Ecth設備、PVD設備、RTP設備、EPI設備、ALD設備等。
咨詢專家
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產品特點
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產品參數(shù)
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相關方案
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質量管理
產品特點
高精密
高精尺寸的設備零件是半導體芯片特別是納米級芯片制造的基礎，零部件精度直接決定了晶圓制程設備的精度以及其各道工藝處理功能的實現(xiàn)
高潔凈度
高潔凈的設備零部件是晶圓工藝制程得到良品率的基礎。制程設備的潔凈度直接決定了在制晶圓及后續(xù)芯片的良品率，甚至決定了整條生產線是否有合格品產出。
高耐腐蝕
高耐腐蝕的設備零部件是芯片制程設備的功能需求，零件的耐腐蝕性能決定了設備的功能性、可靠性、和設備在線停機維護的頻次高低。
產品參數(shù)
| 材料 | 鋁合金/不銹鋼 |
| 表處處理 | 陽極氧化、化學鍍鎳、涂層、精密清洗 |
質量管理
富創(chuàng)質量管理秉承"好的質量是設計、制造出來的"為原則,關注客戶端到端的質量服務,從研發(fā)、設計、過程全生命周期質量管理關注各環(huán)節(jié)中入口質量、過程質量、出口質量,以保證整體質量可控,最終構建成以以預防為主的質量文化,助力客戶產品更具競爭力。
